Книги на ту же тему

1. Итоги науки и техники: Физика плазмы. Том 5, Шафранов В. Д., ред., 1984
2. Генераторы низкотемпературной плазмы: Труды III Всесоюзной научно-технической конференции по генераторам низкотемпературной плазмы, Лыков А. В., ред., 1969
3. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий, Яфаров Р. К., 2009
4. Плазменные ускорители и ионные инжекторы, Козлов Н. П., Морозов А. И., ред., 1984
5. Химия плазмы. Вып. 10, Смирнов Б. М., ред., 1983
6. Кинетика и термодинамика химических реакций в низкотемпературной плазме, Полак Л. С., ред., 1965
7. Физика плазмы (стационарные процессы в частично ионизованном газе): Учебное пособие для вузов, Синкевич О. А., Стаханов И. П., 1991
8. Вакуумно-плазменное и плазменно-растворное модифицирование полимерных материалов, Кутепов A. M., Захаров А. Г., Максимов А. И., 2004
9. Нанотехнологии в микроэлектронике, Агеев О. А., Коноплёв Б. Г., ред., 2019
10. Плазменные и высокочастотные процессы получения и обработки материалов в ядерном топливном цикле: настоящее и будущее, Туманов Ю. Н., 2003
11. Введение в физику поверхности, Оура К., Лифшиц В. Г., Саранин А. А., Зотов А. В., Катаяма М., 2006
12. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции, Волькенштейн Ф. Ф., 1987
13. Неравновесные приповерхностные процессы в полупроводниках и полупроводниковых приборах, Зуев В. А., Саченко А. В., Толпыго К. Б., 1977
14. Методы анализа поверхностей, Зандерна А. В., ред., 1979
15. Химическая физика поверхности твёрдого тела, Моррисон С., 1980
16. Физико-химия поверхности полупроводников, Волькенштейн Ф. Ф., 1973
17. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твёрдого тела, Экштайн В., 1995
18. Поверхностные свойства германия и кремния, Боонстра А., 1970
19. Тонкие плёнки, их изготовление и измерение, Метфессель С., 1963
20. Массоперенос в тонких плёнках, Колешко В. М., Белицкий В. Ф., 1980
21. Труды ФТИАН; Т. 20. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника: физика, технология, диагностика и моделирование, Орликовский А. А., ред., 2009
22. Неразрушающий контроль параметров тонких проводящих плёнок электромагнитными методами, Гаврилин В. В., 1991
23. Распыление под действием бомбардировки частицами. Вып. III. Характеристики распыленных частиц, применения в технике, Бериш Р., Виттмак К., Легрейд Н., Мак-Кланахан Э., Сандквист Б., Хауффе В., Хофер В., Ю М., 1998
24. Методы элементоорганической химии. Кремний, Андрианов К. А., 1968
25. Арсенид галлия в микроэлектронике, Айнспрук Н., Уиссмен У., ред., 1988