| Предисловие | 3 |
| |
| Глава I. Общие сведения об интерференции света | 5 |
 § 1. Основные понятия и величины | — |
| § 2. Когерентность | 8 |
| § 3. Интерференция от двух когерентных источников света | 9 |
Ширина и форма интерференционных полос (10). Разделение световой волны по фронту (12). Разделение световой волны по амплитуде (13). |
| |
| Глава II. Интерференция в пластинах | 15 |
| § 4. Интерференция в плоскопараллельной пластине | — |
Вычисление разности хода лучей в пластине (15). Получение колец равного наклона (16). Зависимость контрастности полос от клиновидности пластины (19). |
| § 5. Интерференция в клиновидной пластине | 20 |
Ход лучей в клиновидной пластине (20). Контрастность полос равной толщины при конечных размерах источника света (21). Плоскость локализации (22). Наблюдение картины вне плоскости локализации (26). |
| § 6. Интерференция в пластине, ограниченной сферическими поверхностями | 28 |
Получение колец Ньютона (28). Измерение радиусов кривизны поверхностей (29). |
| § 7. Многолучевая интерференция в пластинах | 30 |
Интенсивность проходящего света (31). Интенсивность отражённого света (31). |
| § 8. Интерференция в двух пластинах | 33 |
Получение полос равного наклона в белом свете (34). Измерение разности толщин пластин (36). |
| |
| Глава III. Особенности интерференции в белом свете. Компенсаторы | 37 |
| § 9. Общие сведения | — |
| § 10. Неравенство толщин стекла на пути интерферирующих лучей | 39 |
Компенсация стекла воздухом (39). Получение ахроматической полосы (41). Требования к плоскопараллельности оптических деталей (42). |
| § 11. Компенсация неравенства толщин стекла введением стекла другого сорта | 43 |
Получение ахроматической полосы нулевого порядка (44). Получение апохроматической полосы (45). |
| § 12. Измерительные и котировочные стеклянные компенсаторы | 46 |
Компенсаторы с поворотными пластинами (46). Двухклиновой компенсатор (47). Ахроматический компенсатор (49). Апохроматический компенсатор (51). |
| |
| Глава IV. Оптические схемы и особенности основных типов интерферометров | 52 |
| § 13. Интерферометры, оптические схемы которых могут быть сведены к одной воздушной пластине | — |
Интерферометр Физо (52). Интерферометр Майкельсона (52). Эталон Фабри и Перо (58). |
| § 14. Интерферометры с двумя пластинами | 61 |
Интерферометр Жамена (61). Интерферометр Цендера-Маха (65). |
| § 15. Интерферометры френелевского типа | 68 |
Интерферометр Релея (68). Звёздный интерферометр Майкельсона (72). Звёздный интерферометр Линника (75). |
| § 16. Голографические интерферометры | 75 |
| |
| Глава V. Причины понижения контрастности интерференционной картины | 81 |
| § 17. Уточнение определения контрастности | — |
Контрастность по полю и в данной точке поля (81). Измеренное и истинное значения контрастности (82). |
| § 18. Немонохроматичность источника света | 84 |
Две узкие спектральные линии (84). Одна широкая спектральная линия (84). |
| § 19. Неравенство интенсивностей интерферирующих пучков лучей и наличие рассеянного света | 87 |
| § 20. Различие состояний поляризации интерферирующих пучков лучей | 89 |
Интерференция естественного луча с лучом линейно-поляризованным (89). Интерференция двух линейно-поляризованных лучей (90). |
| § 21. Зависимость контрастности от размеров источника света | 93 |
Аналогия между клиновидной пластиной и зеркалами Френеля (94). Сдвиг полос в случае толстой клиновидной пластины (95). |
| § 22. Непараллельность интерферирующих пучков лучей | 98 |
| § 23. Деформации волновых поверхностей | 102 |
Волна W2 сферической формы (103). Волна W2 цилиндрической формы (103). Волна W2 с местными отступлениями от плоскости (105). |
| § 24. Неправильная установка диафрагм | 107 |
| |
| Глава VI. Требования к оптическим и механическим узлам интерферометров | 114 |
| § 25. Дифференциация требований к узлам интерферометров разных типов | 114 |
Принцип устройства интерферометра (114). Назначение интерферометра (114). Расстояние от оптического узла интерферометра до поля интерференции (116). Основные и вспомогательные оптические детали (117). |
| § 26. Требования к качеству изготовления основных оптических деталей | 117 |
Поверхности зеркал и пластин (117). Толщина и клиновидность оптических деталей (123). Стекло оптических деталей (125). |
| § 27. Требования к точности установки основных оптических деталей | 126 |
Смещение деталей вдоль оптической оси (126) Смещение деталей в направлениях, перпендикулярных к оптической оси (127). Поворот зеркал интерферометра (129). |
| § 28. Требования к коллиматору и к приёмной части интерферометра | 130 |
Роль расфокусировки коллиматора (130). Роль дисторсии приёмной части интерферометра (132). |
| § 29. Требования к механическим узлам | 134 |
Жёсткость конструкции (135). Изменения температуры (135). Регулирующие устройства (137). |
| § 30. Юстировка интерферметров и работа с ними | 140 |
Этапы юстировки (140). Способы измерения смещения и искривления полос (143). |
| |
| Глава VII. Интерферометры для измерения длин | 146 |
| § 31. Общие сведения | — |
| § 32. Уникальные интерферометры для измерения больших штриховых и концевых мер длины | 148 |
Эталонная интерференционная установка ВНИИМ (148). Универсальный интерферометр ВНИИМ (150). |
| § 33. Интерферометры для абсолютных измерений длины концевых мер | 153 |
Интерферометр Кестерса (153). Интерферометр NPL (157). Интерферометр фирмы «Хильгер-Ваттс» (158). |
| § 34. Интерферометры для относительных измерений длины концевых мер | 160 |
Технический интерференционный метод (160). Контактные интерферометры (162). Двойной контактный интерферометр (163). Интерферометр Карташева (163). Интерферометр ИКМ-10 (164). |
| § 35. Интерферометры для измерения наружных размеров деталей | 167 |
Многолучевой интерференционный микроскоп МИИ-11 (167). Интерференционный способ измерения диаметров шариков и цилиндров с помощью стеклянных пластин (169). Интерферометр ИЗК-57 для измерения диаметров щариков и цилиндров (170). |
| § 36. Интерферометры для измерения внутренних размеров деталей 173 |
Интерференционный метод измерения диаметров отверстий в прозрачных кольцах с помощью аттестованных пробок (174). Интерференционный нутромер для бесконтактных относительных измерений диаметров отверстий от 8 до 30 мм (175). Интерференционный нутромер ИГ-88 для относительных измерений диаметров отверстий от 5 до 12 мм (178). Абсолютные методы измерений (182). |
| § 37. Интерференционные индикаторы для измерения малых перемещений | 184 |
Бесконтактный интерференционный индикатор удвоенной чувствительности (185). Двойной интерферометр (188). |
| § 38. Лазерные интерферометры для измерения больших перемещений | 189 |
Принципиальные схемы (189). Интерферометр фирмы «Браун Бовери» (191). Интерферометр ИПЛ (192). Интерферометр фирмы «Катлер-Хаммер» (193) Интерферометр фирмы «Хьюлет-Паккард» (193). |
| |
| Глава VIII. Интерферометры для контроля формы и микрогеометрии поверхностей | 195 |
| § 39. Интерферометры для контроля плоскостей | — |
Метод пробного стекла (195). Применение интерферометров типа Физо (197) Интерферометр ИКП-100 удвоенной чувствительности (198). Голографические интерферометры (199). Фотоэлектрические способы (200). Интерферометры для контроля прямолинейности профиля больших поверхностей (201). |
| § 40. Интерферометры для контроля сферических поверхностей | 204 |
Сферические пробные стёкла (204). Интерферометры для бесконтактного контроля поверхностей среднего диаметра (205). Неравноплечий лазерный интерферометр для контроля больших вогнутых поверхностей (210). Интерферометры для контроля сферических поверхностей малого диаметра (212). |
| § 41. Интерференционные методы и приборы для контроля поверхностей сложной формы | 215 |
Применение пробных стёкол и интерферометров для контроля сферических поверхностей (215). Методы контроля поверхностей произвольной формы (216). Контроль поверхностей второго порядка (218). Контроль цилиндрических поверхностей (220). Контроль торических поверхностей (223). |
| § 42. Микроинтерферометры | 225 |
Микроинтерферометр Линника (225). Контрастность интерференционной картины (228). Условия получения прямых полос (229). Роль апертуры микрообъективов (231). Однообъективный микроинтерферометр Захарьевского (233). Другие методы контроля шероховатости (234). |
| § 43. Микропрофилометры | 235 |
Микропрофилометр с цилиндрической линзой (236). Расчёт фокусного расстояния и положения цилиндрической линзы (237). Допустимая ширина щели (238). Влияние неточностей изготовления и установки оптических деталей на контрастность и форму полос (239). Микропрофилометр для контроля шероховатости внутренних поверхностей деталей (240). Микропрофилометр со спектральной насадкой (243). Микропрофилометр пониженной чувствительности (244). |
| |
| Глава IX. Интерферометры прочих назначений | 245 |
| § 44. Интерферометры для исследования оптических систем | — |
Интерферометр Тваймана (245). Метод Линника (247). Метод Цернике (248). |
| § 45. Интерферометры для измерения показателя преломления вещества | 249 |
Интерферометры по схеме Релея (249). Интерферометры по схеме Жамена (251). Измерение показателей преломления твёрдых тел (253). |
| § 46. Интерферометры для исследования неоднородностей в прозрачных объектах | 253 |
Интерферометр Майкельсона-Тваймана (254). Интерферометр Цендера-Маха (254) Интерферометры сдвига (255). Голографический интерферометр (257) Интерферометр последовательного типа (259). |
| § 47. Интерференционные микроскопы для исследования прозрачных микрообъектов | 261 |
Интерференционный биологический микроскоп МБИН-4 (261). Двухфокусный интерференционный микроскоп (262). Интерференционный микроскоп с обратно-круговым ходом (264). |
| |
| Глава X. Способы повышения чувствительности интерференционных методов измерения | 266 |
| § 48. Трёх- и четырёхлучевые интерферометры | — |
Схема трёхлучевого интерферометра типа Релея (266). Трёхлучевой интерферометр Хунцингера (268). Четырёхлучевые интерферометры Харихарана и Сена (270). |
| § 49. Визуальные двухлучевые интерферометры повышенной чувствительности | 273 |
Двухлучевой интерферометр с двойным прохождением лучей (273). Схема Рентча (275). Зеркальные устройства с многократным отражением (275). |
| § 50. Фотоэлектрические методы измерения изменений разности хода | 277 |
Модуляционный метод измерения малых разностей хода (277). Методы наведения на ахроматическую полосу (280). |
| |
| Список литературы | 285 |
